压电纳米定位台：压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现 X 轴、Z 轴、XY 轴、XZ 轴、XYZ 轴及六轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达毫米级，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性。